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FIB聚焦离子束的透射电镜制样聚焦离子束(FIB)的透射电镜制样唐雷钧谢进陈一郑国祥宗祥福(复旦大学材料科学系,上海200433)亚微米IC芯片的发展,对于TEM在IC的失效分析和工艺监控过程中所担负的工作提出了越来越高
发布时间：2016-07-27 点击次数：37
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美国科学家发明新型FIB聚焦离子束系统最近，美国科学家发明了一种能同时聚焦离子束（通常为带正电荷的阳离子）和电子束的新系统，将离子束技术的运用范围和效率又往前推进了一步。聚焦的离子束在半导体行业有着重要作用，可用来切割纳米级结构，对光刻技术
发布时间：2016-07-27 点击次数：50
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FIB聚焦离子束的工作原理液态金属离子源离子源是聚焦离子束系统的心脏，真正的聚焦离子束始于液态金属离子源的出现，液态金属离子源产生的离子具有高亮度、极小的源尺寸等一系列优点，使之成为目前所有聚焦离子束系统的离子源。液态金属离子源是利用液态金
发布时间：2016-07-27 点击次数：65
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FIB聚焦离子束投影曝光技术的优点聚焦离子束投影曝光除了前面已经提到的曝光灵敏度极高和没有邻近效应之外还包括焦深大于曝光深度可以控制。离子源发射的离子束具有非常好的平行性，离子束投影透镜的数值孔径只有0.001，其焦深可达100μm，也就是
发布时间：2016-07-27 点击次数：54
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FIB聚焦离子束的应用FIB技术的在芯片设计及加工过程中的应用介绍：1.IC芯片电路修改用FIB对芯片电路进行物理修改可使芯片设计者对芯片问题处作针对性的测试,以便更快更准确的验证设计方案。若芯片部份区域有问题,可通过FIB对此区域隔离或
发布时间：2016-07-27 点击次数：44
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FIB聚焦离子束曝光技术聚焦离子束也可以像电子束那样作为一种曝光手段。离子束曝光有非常高的灵敏度，这主要是因为在固体材料中的能量转移的效率远远高于电子。常用的电子束曝光抗蚀剂对离子的灵敏度要比对电子束高100倍以上。除了灵敏度高之外，离子束
发布时间：2016-07-27 点击次数：45
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FIB聚焦离子束的技术1、聚焦离子束技术（FIB）聚焦离子束技术（FocusedIonbeam，FIB）是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的离子束轰击材料表面，实现材料的剥离、沉积、注入、切割和改性。随着纳米科技的发展，纳米尺度制造业
发布时间：2017-11-04 点击次数：118
