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超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

  • 所属分类:扫描电子显微镜(场发射)

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/11/03
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详细介绍

现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。

通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,观察性能与现有机型相比提高了20%左右。

此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的最佳性能。

特点:

沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2

采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的最佳性能

与现有机型相比分辨率提高了20%左右

(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

采用污染小、高真空样品仓

运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2

高分辨

高分辨


规格:

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相关标签:日立电子显微镜

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