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高性能聚焦离子束系统 MI4050

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高性能聚焦离子束系统 MI4050

  • 所属分类:FIB

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  • 发布日期:2017/11/03
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详细介绍

MI4050是具有以下特征的高性能聚焦离子束系统:新型电子光学系统,可达到世界最高水准的SIM像分辨率・大束流使加工速度得以提升・提高了低加速电压的分辨率,使得高品质TEM样品制备成为可能

可用于截面加工观察,高品质TEM样品制备,电路修复,Vector Scan加工,微纳米级微细图形及磨具加工,利用沉积功能制作3维构造等众多样品加工应用。

特点:

最大探针电流90nA,实现快速加工和大面积加工


特点

焊线的截面加工

(加工尺寸 宽:95µm 深:55µm, 加工时间 20min)

通过提高极低加速电压(0.5kV~)加工及低加速电压二次电子图像分辨率,实现制备损伤率更低的TEM样品

*1kV以下为选配

可观察高分辨率SIM成像(二次电子成像分辨率高达4nm@30kV)

正常部位

弯折部位

铝罐的截面SIM图像

采用高精度5轴电动机械优中心马达台

可在样品台移动(包括倾斜)时自动对多个部位进行多种加工。

优越的操作性能和多种多样的加工模式

截面制备程序加工

TEM/STEM样品程序加工

自动连续加工

TEM样品自动连续精加工软件

位图加工

Vector Scan加工

制备纳米精度三维结构样品 其他


特点


规格:

规格

相关标签:日立扫描式电子显微镜(SEM),日立电子显微镜SU8000系列价格,日立电子显微镜SU8000系列批发

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