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高真空离子溅射仪

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高真空离子溅射仪

发布日期:2017-11-03 作者: 点击:

高真空离子溅射仪(日立离子溅射仪)

1.打开总电源,打开氩气开关(两成保持在0.035Mpa左右,溅射时也要注意氩气的流量)。

2.按主机背面的开关按钮,进入开机界面,根据提示进行下面一系列的操作。

3.接下来仪器就开始自动洗靶,自动溅射,溅射结束后要稍等片刻,然后按stop放气。待放气操作完成后,开盖,取出样品。

4.Target B type操作同上。

不使用膜厚监控编辑

1.其余操作步骤同上,但要根据自己的需要设置溅射电流和溅射时间(最长时间是4min),和循环次数(最多循环9次),按上下键设置时间。

2.接下来仪器就开始自动洗靶,自动溅射,溅射结束后要稍等片刻,然后按stop放气。待放气操作完成后,开盖,取出样品。

3.B靶操作同A靶。

日立离子溅射仪


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