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日立能谱仪

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日立能谱仪

发布日期:2016-07-30 作者: 点击:

能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。

中文名 能谱仪 外文名 EDS,Energy Dispersive Spectroscopy 针对对象 材料微区成分元素种类与含量 探    头 一般为Si(Li)锂硅半导体探头

原理

各种元素具有自己的X射线特征波长,特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E,能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。

性能指标

探头:一般为Si(Li)锂硅半导体探头

探测面积:几平方毫米

分辨率(MnKa):~133eV

探测元素范围:Be4~U92

测器原理

当X射线光子进入检测器后,在Si(Li)晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的最低平均能量ε是一定的(在低温下平均为3.8ev),而由一个X射线光子造成的空穴对的数目为N=△E/ε,因此,入射X射线光子的能量越高,N就越大。利用加在晶体两端的偏压收集电子空穴对,经过前置放大器转换成电流脉冲,电流脉冲的高度取决于N的大小。电流脉冲经过主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器,脉冲高度分析器按高度把脉冲分类进行计数,这样就可以描出一张X射线按能量大小分布的图谱。

使用范围

1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析;

2、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定;

3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析,如:金属化膜表面镀层的检测;

4、金银饰品、宝石首饰的鉴别,考古和文物鉴定,以及刑侦鉴定等领域;

5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析,在材料表面做元素的面、线、点分布分析。日立离子溅射仪

日立离子溅射仪


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